產(chǎn)品型號(hào)
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v 設(shè)備組成：有機(jī)/金屬源蒸發(fā)沉積室、真空排氣系統(tǒng)；真空測(cè)量系統(tǒng)；蒸發(fā)源；樣品加熱控溫；電控系統(tǒng)；配氣系統(tǒng)等部分組成
v 樣品尺寸：8inch
v 沉積源/真空度：根據(jù)用戶定制
v 控制系統(tǒng)：手動(dòng)、全自動(dòng)
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