產(chǎn)品型號
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產(chǎn)品分類
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v 本套系統(tǒng)主要用于材料表面形貌的觀察;平面或三維測量??刹捎?/span>3D觀測模式,對被測物形狀,粗糙度,表面積等進(jìn)行測量,可以做高度,寬度,橫截面,角度,R值,表面積,體積,線粗糙度,面粗糙度等的測量分析。同時(shí)可以做材料斷口、金相的觀測,陶瓷,微流道,微加工,現(xiàn)代加工制造,MEMS研究,微納制造等
v 光源類型:≤404nm半導(dǎo)體激光
v X/Y方向測量顯示分辨率:1nm
v Z向測量顯示分辨率:0.5 nm
v 面掃描速度:≥125Hz、線掃描速度:≥7900Hz
v 角度特性:穩(wěn)定測量傾角≥87.1度的斜面
v XY載物臺電動運(yùn)行范圍:≥100mm*100mm